七月初，海灣科技再一次給徐申學(xué)報喜，說是已經(jīng)研發(fā)出來了DUV乾式光刻機(jī)的樣機(jī)，正準(zhǔn)備進(jìn)行第一次開機(jī)測試。
得到這個消息後，徐申學(xué)推掉了其他的行程，當(dāng)天就去了海灣科技。
抵達(dá)海灣科技後，王道林一臉喜色的帶著徐申學(xué)參觀了他們最新的研發(fā)成果：一臺完全自研的DUV乾式光刻機(jī)。
“從光源系統(tǒng)到物鏡，再到機(jī)臺等所有的子系統(tǒng)整合以及部分關(guān)鍵零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投資，智雲(yún)科技旗下的兄弟公司所提供，此外這些子系統(tǒng)的背後所需要的衆(zhòng)多零部件，除了我們自家的兄弟公司外，還有其他超過一千多家國內(nèi)企業(yè)供應(yīng)。”
“參與這個項目研發(fā)的企業(yè)數(shù)量，直接或間接達(dá)到了接近兩千家，各類研究所一百多家，還有十多所著名高校也都參與了進(jìn)來！”
王道林說著的時候，激動中更帶著感嘆：“這可是真正的舉國之力才能搞出來的頂級設(shè)備啊！”
“我們硬是靠著一家之力，做到了整個歐美日韓整個西方體系整合起來才能做到的事情，這難度，比單純研發(fā)一個光刻機(jī)更難?！?
“如果是依託全球產(chǎn)業(yè)鏈，搞這東西雖然技術(shù)難度很高，但是我們要做的也只是系統(tǒng)整合工作而已，難度雖然有，但是不至於有什麼代差，給我們ASML的零部件供應(yīng)商，我都敢放話，最多一年時間就能夠弄出來DUV浸潤式光刻機(jī)甚至進(jìn)軍EUV光刻機(jī)！”
“但是我們沒有這些全球範(fàn)圍的供應(yīng)商啊，所以很多東西都只能自己在國內(nèi)找，實在找不到就只能自己從頭研發(fā)！”
“DUV光刻機(jī)的全部國產(chǎn)化，其難度大的驚人！”
“很多東西都要從原材料開始研發(fā)！”
王道林說著的時候，一旁的南江科技的研發(fā)部門負(fù)責(zé)人曹星辰也是接上了話頭：“不錯！”
“我們公司是搞物鏡，爲(wèi)了這個DUV光刻機(jī)的物鏡，我們是從材料到加工工藝，全都是重新搞的！”
“我們南江科技主導(dǎo)，還拉著一大票研究所，合作企業(yè)，同時展開了數(shù)十個新材料研究項目，挨個測試各種材料並對材料進(jìn)行鍼對性的改進(jìn)?！?
“最終花了兩年多時間，這才弄出來了堪用的材料！”
“但是弄出來材料還不行，然後還得加工??！”
“這加工更難！”
曹星辰說的時候，也是回想起來了之前的研發(fā)困境，不由得感嘆：“光刻機(jī)所需要的鏡片精度是非常高的，通常需要達(dá)到波長的五十分之一，比如我們這DUV乾式光刻機(jī)的光源波長是193納米，五十分之一就是三點八六納米！”
“這種精度的加工，幾乎超過普通人的想象！”
“而我們南光之前在生產(chǎn)I-line光刻機(jī)鏡片以及KRF光源鏡片的時候，採用的是國內(nèi)現(xiàn)有的一些技術(shù)，比如小磨頭拋光、磁流變拋光等技術(shù)?！?
“原有的這些技術(shù)用來加工DUV光刻機(jī)所需要的鏡片還不夠！”
“而且想要在原來的技術(shù)路線想要獲得更大的突破，達(dá)到蔡司，尼康等廠家的水準(zhǔn)難度非常大?！?
“爲(wèi)了解決這一問題，我們的研發(fā)團(tuán)隊一邊現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行研發(fā)，一邊開發(fā)新技術(shù)，其中的一項新技術(shù)得到了迅速發(fā)展，這就是離子束拋光技術(shù)。”
說到這個離子束拋光技術(shù)的時候，曹星辰整個人都變的激動了起來：
“這項技術(shù)雖然也很難研發(fā)，爲(wèi)此耗費了我們大量的人力物力，但是真正做出來後效果那是真的好??！”
“利用該技術(shù)我們可以輕易的加工出來滿足DUV乾式光刻機(jī)需求的鏡片，甚至後續(xù)工藝?yán)^續(xù)改進(jìn)後，搞出來DUV浸潤式光刻機(jī)的鏡片也是問題不大！”
DUV乾式光光刻機(jī)和浸潤式光刻機(jī)，雖然使用的光源都是ARF光源，但是浸潤式光刻機(jī)的光源經(jīng)過超純水的折射後，波長卻是演變爲(wèi)134納米。
因爲(wèi)兩者雖然光源系統(tǒng)看似一樣，但是對物鏡以及其他子系統(tǒng)的要求是不一樣的。
曹星辰繼續(xù)說著：“甚至在這項技術(shù)上繼續(xù)耕耘下去，未來是能夠搞出來精度更高，可用於EUV光刻機(jī)所需要的鏡片的！”
一代代光科技的技術(shù)升級，除了光源系統(tǒng)不斷升級進(jìn)步外，還需要其他諸多子系統(tǒng)的配合，而物鏡就是這一系列子系統(tǒng)裡最爲(wèi)關(guān)鍵的部分。
以上這兩點是影響光刻精度最核心的子系統(tǒng)。
當(dāng)然，其他方面，比如機(jī)臺對準(zhǔn)等也不能差就是了。
徐申學(xué)聽著這些話，然後翻看著手中的技術(shù)手冊，爲(wèi)了照顧徐申學(xué)這個不懂技術(shù)的人，這份技術(shù)手冊用簡單易懂的方式介紹了眼前的這臺DUV乾式光刻機(jī)的基本情況以及各子系統(tǒng)的情況。
也就是之前徐申學(xué)常年給自己掛著一個B級科研名額的外掛，然後閒著沒啥事的時候也會經(jīng)常學(xué)習(xí)，翻看一些技術(shù)，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)資料。
所以多少也能夠看出來這技術(shù)資料上描述的各種技術(shù)參數(shù)，其背後意味著什麼！
就和王道林說的一樣：這是一個舉國之力才能夠搞出來的頂級設(shè)備！
而且準(zhǔn)確的說，光刻機(jī)這東西到了現(xiàn)在，真正能夠靠著一國之力做出來的，只有華夏了，其他國家因爲(wèi)全球化分工的緣故，哪怕是美國也無法單獨做出來光刻機(jī)了。
還是物鏡爲(wèi)例子，主導(dǎo)的是南江科技，但是材料的研發(fā)實際上是和數(shù)十個研究所一起合作研發(fā)的。
沒有這麼多材料研究所，高校配合你一起玩這東西，光靠南江科技自己那點材料研發(fā)人員，再過十年也搞不出來！
鏡片加工也是，雖然加工是南江科技加工的，但是很多設(shè)備其實都是衆(zhòng)多科研所專門定製研發(fā)的。
其中的核心設(shè)備離子束拋光設(shè)備，不少核心零部件是幾家國內(nèi)頂級的科研機(jī)構(gòu)，一羣大佬們帶著衆(zhòng)多科研牛馬在實驗室裡做出來的。
哪怕整個研發(fā)過程裡，南江科技都是給了錢的，但是很多事情，就不是說給錢了就能找到人和機(jī)構(gòu)給你研發(fā)的。
你想要花錢搞這東西，你也得有這麼一個龐大的國家，並且這個國家有充足的底蘊才行。
徐申學(xué)合上了技術(shù)說明書，再看看前方的這臺‘大櫃子’，發(fā)出了感嘆：“不容易啊，算起來也搞了好幾年了，總算是看到這東西的真面目了！”
感嘆完，徐申學(xué)對著周邊的一圈：“大家都辛苦了！”
“來，讓我們的大寶貝動起來，不是說要進(jìn)行測試嗎，讓我看看代表我們最頂級的工業(yè)水準(zhǔn)的真材實料如何！”
王道林道：“好嘞，我們的測試工作之前就已經(jīng)準(zhǔn)備妥當(dāng)了，就等著徐董你過來看呢！”
海藍(lán)科技這邊，也有一個簡單的測試用的小產(chǎn)線，有硅晶圓片以及其他的一些核心設(shè)備，進(jìn)行生產(chǎn)不可行，但是進(jìn)行測試則是問題不大。
隨著測試開啓，無塵實驗室裡的科研人員也開始進(jìn)行了操作，暖黃色的機(jī)房裡早就準(zhǔn)備好的硅晶圓片被噴塗上光刻膠，經(jīng)過一系列操作後，再被送入光刻機(jī)的機(jī)臺上進(jìn)行光刻。
光刻機(jī)啓動起來後，其實徐申學(xué)也看不到其內(nèi)部的運轉(zhuǎn)過程，畢竟光刻機(jī)工作對環(huán)境的要求非常高，除了極少數(shù)專屬工作人員經(jīng)過嚴(yán)密的除塵後可以進(jìn)入外，普通外人是不能進(jìn)去的。
別說人不能進(jìn)去了，這光刻機(jī)工作的時候，對光線都有要求……所以光刻機(jī)的測試車間裡，燈光都是暖黃色的。
因爲(wèi)其他色調(diào)的燈光，會影響到光刻機(jī)的光源波長……
製造芯片可是當(dāng)代人類最爲(wèi)巔峰的生產(chǎn)技術(shù)。
如智雲(yún)S303芯片，在指甲蓋的芯片上，封裝了足足七億多個晶體管。
其技術(shù)難度相當(dāng)於在指甲蓋大小的芯片上，雕刻一座規(guī)模龐大的超級城市，而且還是住滿人的超級大城市。
這種超高精度的加工，除了對設(shè)備要求極爲(wèi)苛刻外，還對環(huán)境要求也極爲(wèi)苛刻。
爲(wèi)了避影響測試，徐申學(xué)其實從頭到尾都沒有進(jìn)入過機(jī)房，只是在外頭隔著玻璃看一眼看而已。
而等測試開始後，爲(wèi)了避免外部光線進(jìn)入影響測試，乾脆是把玻璃窗都給遮擋了。
如今的徐申學(xué)以及其他一羣人，只能是在外頭的觀察室裡，通過實驗室裡的攝像頭進(jìn)行觀察。
不過怎麼說呢，芯片的生產(chǎn)雖然各種難，但是真正生產(chǎn)起來卻是沒有什麼驚天動地的舉動。
甚至連聲音也沒有多大，震動更是沒有。
一旁的工作人員都不敢說話，害怕聲音引起的震動影響測試……儘管這是他們的瞎擔(dān)心。
但是，在這種關(guān)鍵的試驗測試裡，很多人都是不由自主的謹(jǐn)慎了許多。
裡頭的那臺DUV乾式光刻機(jī)，可是彙集了無數(shù)人的心血啊，多少人爲(wèi)這臺光刻機(jī)的順利誕生而嘔心瀝血?。?
如今到了實際測試，看一看真本事的時候了，哪能不在乎、不小心啊！
徐申學(xué)看著攝像機(jī)裡的內(nèi)容，整個芯片生產(chǎn)過程都是沒有人工參與，全部都是自動化設(shè)備進(jìn)行。
沒有多久，一旁的王道林就帶著一絲激動站起來道：“光刻已經(jīng)順利完成了，後面就是要進(jìn)行接下來的幾道去膠等工序，然後我們就可以看到試驗結(jié)果了！”
徐申學(xué)一副鎮(zhèn)定表情微微點頭！
看王道林這些人啊，就是眼界小了，格局差了，不過是第一遍光刻工序完成而已，這都是既定程序，沒啥好驚奇的。
不久後，隨著多道後續(xù)工序完成後，王道林道：“現(xiàn)在基本工序已經(jīng)完成了，接下來就可以用電子掃描鏡進(jìn)行觀察了?！?
只是光刻試驗而已，自然不需要正常芯片生產(chǎn)流程裡的諸多後續(xù)工序，只需要光刻後進(jìn)行去膠清洗等環(huán)節(jié)，做到能夠觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)就行了。
很快，這一片晶圓片就被切割，然後其中的一片芯片被送到了專用的電子掃描鏡下進(jìn)行放大觀察。
王道林一邊解釋道：“我們測試用的芯片，是一種集團(tuán)裡的低製程功能芯片，採用的是六十五納米工藝，正好用來測試我們的DUV乾式光刻機(jī)！”
這一次測試，只是測試光刻機(jī)的可用性，可不考慮什麼良品率之類的問題，因此只需要通過最基本的測試就過關(guān)。
很快，電子掃描鏡那邊也陸續(xù)給出了圖像，一羣研究人員對著顯示器裡的密密麻的芯片內(nèi)部，納米級別的晶體管電路進(jìn)行檢查分析。
而分析的過程裡，可以看見那幾個工程師臉上的笑容越來越盛。
到了最後，其中一個工程師忍不住站起來：“成功了，我們成功了，光刻精度完全達(dá)到了設(shè)計要求！”
這個時候，不等王道林說話，原本坐著的徐申學(xué)自己就站起來快步走了過去。
然後看向屏幕裡的大片讓人看一眼就頭暈的密密麻麻的晶體管電路圖。
王道林也跟上來：“終於是成功了，徐董，我們沒有辜負(fù)您的期望，這DUV乾式光刻機(jī)，我們總算是做出來了！”
“只要現(xiàn)在的基本性能達(dá)到了設(shè)計指標(biāo)，哪怕後續(xù)還存在一些問題，我們也可以後續(xù)慢慢改進(jìn)，逐步提升銷量，良率，然後用於實際生產(chǎn)！”
徐申學(xué)道：“好，好的很！”
“辛苦大家了，今天晚上我做東，大家都要來，我們不醉不歸！”
“然後，項目獲得了成功，而我徐某人呢，除了有幾個臭錢外也沒其他的了，所有參與該項目研發(fā)的研發(fā)人員，這個月的績效一律三倍發(fā)放，技術(shù)骨幹另有獎金和期權(quán)奉上！”
“除了整機(jī)項目外，各子系統(tǒng)的研發(fā)團(tuán)隊也一應(yīng)如此！”
“瞭解我的人都知道，我徐申學(xué)從不說假大空的話，這筆獎金我相信會讓諸多滿意的！”
徐申學(xué)給錢大方，那可是出了名的……尤其是在一些重點研發(fā)領(lǐng)域裡給獎金那是給的超級大方。
智雲(yún)微電子那邊搞出來三十二納米工藝，徐申學(xué)一次性就對研發(fā)團(tuán)隊發(fā)出去了超過三千萬的獎金！
光刻機(jī)領(lǐng)域裡也不例外，徐申學(xué)老早就說過，等你們搞出來DUV乾式光刻機(jī)的那一天，就是你們實現(xiàn)財富自由的時候。
多了不敢說，但是整機(jī)項目以及各子系統(tǒng)裡的核心技術(shù)人員，這一次的項目獎金足以讓他們在深城買房安家，全款的那種！
只要東西搞出來，哪怕幾個億獎金對於徐申學(xué)而言那都不算什麼。
和這個DUV乾式光刻機(jī)的巨大意義比起來，這幾個億獎金算個屁！
儘管DUV乾式光刻機(jī)只能用於六十五納米工藝，但是這東西卻是DUV浸潤式光刻機(jī)的前置技術(shù)。
大量的子系統(tǒng)都是通用的，或者是改進(jìn)後就能用的。
這解決的是0-1的問題，後續(xù)DUV乾式光刻機(jī)到DUV浸潤式光刻機(jī)，那是1-9的問題。
儘管1-9也非常困難，但是有了這個1打基礎(chǔ)，那麼後續(xù)搞起來纔有目標(biāo)，有頭緒啊！
有了這個DUV乾式光刻機(jī)後，徐申學(xué)也就能夠真正暢想數(shù)年後把DUV浸入式光刻機(jī)弄出來了。
只要把DUV浸潤式光刻機(jī)給弄出來，再配搭其他核心設(shè)備以及耗材，未來很多年都不用擔(dān)心被制裁封鎖了。
因爲(wèi)DUV浸潤式光刻機(jī)，使用多重曝光技術(shù)，是可以做出來等效7納米的芯片的。
甚至極端一些，都能做到等效5納米的芯片，只不過成本會很高而已……
全面可自主的等效7納米芯片工藝技術(shù)，這對智雲(yún)，對華夏的意義極其重大。
而等效5納米工藝的意義更大，哪怕它的生產(chǎn)成本比用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)等效五納米工藝的芯片高得多，甚至通常情況下都不具備商用價值！
但是，其實際意義依舊重大，因爲(wèi)這解決的是有無問題！
人家的EUV光刻機(jī)制造的五納米，甚至三納米，二納米的芯片，尤其AI芯片那是各種好，問題是你買不到啊……
這個時候，自家如果有等效五納米工藝的芯片，尤其是AI芯片，也能勉強(qiáng)頂上去，性能差一些總比沒有強(qiáng)！