第222章 就算是破爛那也是世界第二

深城，南方光學，這是一家仙女山控股投資創辦的企業，在收購了一家頗有歷史的光學企業之後，大力招攬光學領域的人才。

依託國內現有的一些供應鏈，南方光學在去年的時候先是搞定了可商用的I-LINE光刻機的光源系統，隨後去年又搞定了KRF光源系統，協助海灣科技搞出來了KRF光刻機，並進行了商用化。

目前正在進行DUV乾式光刻機所需要的ARF光源系統的研發。

如今的南方光學，已經迅速成長爲國內光學領域裡的龍頭企業，其實力已經超過了國內其他的一些光學企業。

但是即便如此，技術積累也嚴重不足，搞ARF光源的時候遇到了無數的麻煩，不久前的光源測試又失敗了。

這讓南方光源的一羣核心研究人員愁眉不展！

“這麼下去不行啊，我們的研發進度已經拖延了不少，海灣科技那邊都已經把機臺搞出來了，就等著我們的光源呢。”

“上一次的測試失敗，關鍵還是材料問題，其中的幾種材料因爲性能參數太低，我們不得不採用了多種折衷的辦法來實現設計效果，但是繞了太多彎路，導致整個系統太複雜，故障率也是水漲船高！”

“這樣的光源系統看似是做出來了，但是根本沒辦法用於商用！”

而就在這個時候，南方光學的科研老大，來到了仙女山控股總部公司裡，看到了一枚小小的閃存芯片。

隨後打開，並輸入了複雜密碼對內部儲存的文件進行了解密後，這個負責人眼睛都呆住了。

“這些資料從哪裡來的？”

“這是EUV光源系統的整體設計啊，而且還如此的詳細，涉及到了每一項零配件的詳細參數！”

“還有這個ARF光源系統，這不就是ASML現在的DUV光刻機上用的光源系統嘛？你們怎麼弄來的這這些資料啊？”

仙女山控股過來送資料的人道：“別問我，我也不知道，我勸你最好也別問，很多事知道的太多對你沒什麼好處！”

“讓你過來，是讓你充當顧問，指導我們對文件進行刪改，只要要把這些同行公司的名稱給刪除了，不然直接拿去給技術人員看，影響不太好！”

“沒問題，我保證把文件刪改的讓人看不出來明顯痕跡，不過這技術特徵太明顯了，這要是原樣做出來的話，稍微懂行的人都能看出來我們是抄的！”

“那就是抄的唄，國內的DUV光刻機多了去，我們拆開幾臺看看，抄一抄也是很正常的！”

不用多久，經過了初步整理的資料被送到了南方光學，並陸續以各種名義分批，分批發放部分ARF光源系統的研發資料。

問就是公司機密，別問那麼多。

然後南方光學在ARF光源領域的研發瞬間提速……當然，就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源系統弄出來，其中不少是涉及到原料的難點，人家給的資料只是告訴你用什麼材料做，材料要達到什麼性能。

但是材料怎麼來的……這就需要南方光學自己要麼自己研發，要麼滿世界尋找供應商了。

“目前DUV光刻機的研發還是比較順利的，也許今年夏天的時候我們就能夠做出來第一臺的樣機，如果沒有出現什麼大問題的話，秋天的時候我們就能嘗試做幾臺交付智雲微電子那邊進行測試，明年就能進行大規模量產！”

海灣科技的總經理王道林，心情很不錯的出現在柳河投資的董事長辦公室裡，一邊泡著茶一邊道：“徐董你大可放心，本來我對這個DUV乾式光刻機項目多少還有些信心不足，不過最近一年來各子系統的推進進展非常順利，光源系統的南方光學已經給我打了包票，說他們最遲在六月份就交付第一套的ARF光源系統，這套光源系統是波長193納米的，而且不是之前的那種測試用的光源，而是可以直接使用的光源！”

“北林精密的雙工作臺做起來雖然難一些，做起來的性能參數不如國外同類產品，但是勉強也可以用！”

“其他的幾個子系統如今大多也做的差不多了，就等著光源那邊搞定，然後我們就嘗試搞一臺樣機出來了！”

徐申學面帶微笑聽著，時不時喝口茶：“這是大好事啊，有了這個DUV乾式光刻機，那麼智雲半導體那邊的六十五納米工藝節點也就有了自家的光刻機可用了！”

“加油幹，光刻機乃是半導體產業鏈裡的核心設備，儘快搞出來，此外其他的一些關鍵設備也不能落下，記得我們的目標，不是單純的光刻機，而是整條生產線上的關鍵設備。”

“能搞的都要搞，搞不了的也要強行搞，我們要的不是一臺孤零零的光刻機，而是一整套的先進工藝芯片生產線，所以其他的幾種關鍵設備也要儘快進度。”

王道林道：“明白的，我們海灣科技裡的項目是非常多的，前道光刻機也只是我們公司裡的其中一個重要項目而已，我們在後道光刻機領域上也進展非常快，已經大量給智雲微電子乃至其他一些芯片廠商供貨了，而且我們的後道光刻機技術推進非常快速，已經迭代了第三代，我們的第三代後道光刻機，甚至都可以滿足三十二納米乃至潛在更低的二十八納米制程工藝的生產了，並且在生產效率上並不會比國外同類產品差。”

“同時我們的成本更低，售價更低，維護以及耗材費用也更低，在市場上具有很不錯的競爭力。”

“甚至是一些國外的芯片工廠已經開始諮詢我們，嘗試採購我們的第二代或第三代後道光刻機了！”

“然後還有蝕刻機項目、離子注入機這兩項關鍵設備，也是我們公司的重點項目，我們都已經研發出來了第一代產品，並供應給了智雲微電子那邊用於低製程工藝生產！”

“目前智雲微電子那邊的130納米節點以上的落後工藝的多種關鍵設備，都已經轉爲採購我們海灣科技的設備了，整體來說我們的這兩種設備還處於第一代，效率上差一些，故障小毛病也多，但是我們的出貨價更便宜，只有進口產品的幾分之一的價格，後續維護、零配件的價格也更便宜，因此算到最後的芯片生產成本上，大概能夠做到和進口設備的生產線持平！”

“如今我們公司正在組織精幹力量，並匯同供應商一起攻堅第二代蝕刻機以及離子注入機項目，爭取年底看看能不能把第二代也弄出來，以滿足六十五納米節點工藝的生產線需求！”

“此外智雲微電子那邊，他們自己也有設備部門，自研了一部分關鍵設備以及常規設備，他們的清洗設備以及去膠設備就做的很不錯。”

“我們海灣科技以及智雲微電子的設備自研部門，所研發的各項半導體生產線設備，基本上覆蓋了生產線的幾乎所有核心關鍵設備，一些沒有搞的設備，也能在國內能夠找到供應商。”

“我們應該有希望在後年之前，完成全套的130納米工藝階段全面自主化，不需要進口哪怕一個螺絲釘，也能夠生產出來130納米工藝節點的芯片！”

“後續的更高製程工藝的設備要更復雜一些，光靠我們兩家搞有些吃力，想要做到全面國產化難度太大了。”

徐申學道：“這一點不用擔心，前些時候我去京城參加了個座談會，就六十五納米工藝節點的自主化問題做了專題彙報，他們已經答應了我會調動相關科研所，企業參與進來，後續他們會陸續接手部分子系統以及一些基礎材料方面的研發！”

“估計就在這個月裡，他們會陸續聯繫你，到時候你做好對接工作，把一些低效的，沒有什麼意義的重複研發工作分包出去，尤其是需要用到大量人力資源的研發項目讓他們去搞，我們公司的研發人員數量有限，要用到刀刃上，一些低級研發工作讓他們來打下手就好！”

王道林道：“他們？”

王道林聽到卻是沒有喜色，反而是微微皺眉：“他們嗎？”

“他們搞光刻機，一年經費還沒有我們光刻機項目一個月的經費多，指望他們是不是有點不靠譜？”

徐申學卻是喝了口茶：“就算效率低一些，創新少一些也沒有大礙，但是做一些外包工作還是沒什麼問題的，再說了我們又不是不給錢，他們自己搞沒錢拿自然積極性不高，但是我們給錢啊！”

王道林道：“這倒是，到時候我把一些重複低效的研發工作分包出去，這些工作哪怕是一些剛入門的應屆生都能搞，他們應該勉強也能搞。”

“這樣也可以大幅度降低我們的工作強度，讓我們集中到最關鍵，最核心的研發工作上來！”

“到時候我們按照分包項目給錢，不完成就不給錢，再拿出一些激勵措施來，說不準還能讓這些老爺們上滿八個小時的班，安心做做研究！”

徐申學聽罷卻是微微擺手：“什麼老爺，這些話在我這裡說說就算了，在外頭就別說了，影響不好！”

王道林道：“我也就是在徐董您這裡纔多嘮叨幾句，但凡出了你這個門，我都不認我剛纔說過的那些話！”

“不過，唉……算了，不說了！”

徐申學知道他以前在那些地方上班，是受了委屈的，對這些地方有著一些排斥，甚至經常帶著鄙視的態度審視那些研究人員。

這個王道林因爲之前的經歷，多次說過那些地方里的人啊，都是一羣混吃等死的貨色，指望他們，再過十五年也搞不出來DUV浸潤式光刻機。

徐申學當時聽到這話後，默默算了一下時間，發現在很多人眼裡悲觀無比的王道林還是過於樂觀了！

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但是半導體產業是一個非常龐大的產業，不是一個人，一家企業能夠搞定的！

海灣科技也好，智雲微電子也罷，想要維持快速發展，把半導體搞起來，必然需要一整個工業體系的支撐！

總不能什麼都直接搞吧？

智雲科技再牛逼，也不可能再打造出來地球上的第三套工業體系啊！

這都不是錢的事！

具體到光刻機項目裡，目前海灣科技已經量產商用的KRF光刻機，這玩意看起來似乎很落後了吧，海灣科技也是沒什麼費勁，很快就給弄出來了，並且迅速投入了商用。

其中固然有海灣科技背後徐申學這個世界首富的支持，不差錢，同時還有科研系統的支持，上萬名研發人員硬生生原地拔高了一大截的研發能力。

但即便如此，那也是依託於整個國家的基礎產業在過去幾十年來的長期積累，同時還有過去十多年來在多個大項目的持續帶動下陸續發展起來的一些子系統，材料突破。

比如光源部分，南方光學可是直接收購了一傢俱有生產KRF光源實力的光學廠商，在這個基礎上進行優化設計，提升整體性能後，才最初來了合格的商用KRF光源系統。

可不是說南方光學自己從頭搞起來的！

還有ARF光源系統也差不多，之前的物鏡，光源等很多領域，其實國內已經具備了一定的基礎，南方光學在這基礎上進行整合，然後優化設計。

而放大到整個前道光刻機項目裡也是類似的情況，

海灣科技的前道光刻機的研發裡，其實主要工作不是發明創造，而是優化整合。

用他們自己的話來說就是：爭取讓這一堆性能都不咋地的破爛玩意，通過精妙的設計，做到穩定，長期，高效的生產出來先進製程的芯片！

這是他們內部的一些工程師的自嘲態度：我們啊，就是一羣玩破爛的！

對比荷蘭，日本的光刻機同行們，海灣科技的工程師們，還真就是玩破爛的……他們所能夠得到的零配件性能，差距其實不小。

因此海灣科技的工程師們，其實要面臨比荷蘭ASML，日本尼康的工程師們更復雜，更艱難的問題！

他們要用一大堆性能不咋地的零配件，然後裝配出來一臺性能不能差國外同類產品太多的DUV乾式光刻機，乃至後續的DUV浸潤式光刻機。

這是一項非常具有挑戰性的任務。