“大陸晴風(fēng)集團(tuán)創(chuàng)始人?”
“旗下已有三家上市公司,資產(chǎn)數(shù)百億?內(nèi)地隱形富豪?”
“白手起家,竟然才26歲?”
看到葉風(fēng)的資料,張中謀懷疑是不是底下的搞錯了?
很快,他就打消了這個(gè)念頭。
能擺上他案頭的,自然是確定無數(shù)次的材料。
和葉風(fēng)的資料一起擺上案頭的,還有近期中芯的變化。
“剛剛經(jīng)歷了非典的衝擊,中芯就開始量產(chǎn)90nm的工藝的芯片了嗎?”
“中芯竟然從荷蘭阿斯麥公司進(jìn)口了一臺最先進(jìn)的光刻機(jī)。還是今年才從香江維多利亞港裝船的。”
“中芯那邊有高人啊,居然沒有找“光刻機(jī)霸主”——東洋的尼康和佳能購買設(shè)備,反而找到這家小廠?”
張中謀不得不佩服中芯高人的眼光獨(dú)到之處。
荷蘭的光刻機(jī)技術(shù)不比東洋差,但是名氣要小得多。他們正好需要打破東洋的壟斷,只要中芯許之與厚利就能突破《瓦森納協(xié)定》的封鎖,從而買到最先進(jìn)的光刻機(jī)。
去年積電代工英特爾最成熟的芯片工藝,就是90nm的。
中芯這是追到積電的屁股後面了。
雙方的技術(shù)代差,只有半代了。
想到這裡。
張中謀不慌不忙,吩咐助理:“把林苯堅(jiān)叫來。”
……
不一會,一名50來歲的清瘦男子奉命前來。
此人正是積電技術(shù)副總監(jiān)林苯堅(jiān),1970年獲得美國俄亥俄州立大學(xué)電機(jī)工程博士,在IBM一干就是22年,專攻高成像技術(shù)。
2000年,林苯堅(jiān)加入了積電,提出一系列突破性的創(chuàng)新,研發(fā)溼法光刻技術(shù)。
這項(xiàng)技術(shù)和如今的幹法光刻技術(shù)方案背道而馳,林苯堅(jiān)還被圈內(nèi)人吐槽是“擋在航空母艦面前不自量力的飛鳥”。
此方案也遭到了如今“光刻機(jī)霸主”東洋佳能和尼康的抵制。林苯堅(jiān)剛剛提出即遭反對,心情自然是鬱悶無比,只得暗自研究相關(guān)工藝。
“張總,您找我?”林苯堅(jiān)進(jìn)門,就看到張中謀在看資料沉思。
“苯堅(jiān)吶,你來了。”張中謀聞言擡頭,喜道:“快請坐。”
待到林苯堅(jiān)小心地坐下後,張中謀笑道:“苯堅(jiān)啊,你上次申請的溼法光刻技術(shù)項(xiàng)目,我研究後很有興趣,你能對我再講講你的看法嗎?”
“啊……”
林苯堅(jiān)聞言又驚又喜,驚的是德高望重的張中謀親自研究了他的項(xiàng)目方案,喜的是自己終於得到了發(fā)揮的機(jī)會。
他整理了一下思路,緩緩道:“傳統(tǒng)的乾式光刻法,自1959年發(fā)明‘平面積成電路’以來,被持續(xù)使用了四十年,然而受限於基本光學(xué)衍射,在90年代後期,用該方法制造特徵尺寸小於65納米的芯片面臨無法逾越的瓶頸。”
林苯堅(jiān)堅(jiān)定地道:“我預(yù)見昂貴的乾式光刻技術(shù)將進(jìn)入死角,所以建議使用溼式光刻,該方法是一種新的光刻工序,透過液體介質(zhì)置換透鏡和晶圓表面之間的氣隙以提高光學(xué)解析精度。”
“這個(gè)我知道,你說的溼式光刻,是浸潤式光刻,這個(gè)概念在80年代曾有人提出過。但這個(gè)概念很原始,距離可實(shí)現(xiàn)的方法還很遠(yuǎn)。”張中謀點(diǎn)頭道。
“對,爲(wèi)了優(yōu)化浸潤式光刻系統(tǒng),我在理論上重新定義並導(dǎo)出了關(guān)鍵性能指標(biāo)和縮放公式,爲(wèi)極高解析度的三維浸潤式光刻光學(xué)系統(tǒng),規(guī)範(fàn)了必須遵行的縮放定律。”
林苯堅(jiān)道:“我還在實(shí)驗(yàn)室的研究發(fā)現(xiàn),想要完善浸潤式光刻,就是要克服液體中微氣泡的形成。還必須要開拓在熱力學(xué)極限下,經(jīng)由水而衍射的光刻工序。”
張中謀赫然動容道:“如果你的這個(gè)設(shè)想全部解決,那麼在科學(xué)和工程上,就證實(shí)了溼式光刻方法可用於最先進(jìn)的IC製程,可以將IC技術(shù)節(jié)點(diǎn)從65nm持續(xù)降低,打破65nm的技術(shù)壁障。”
“對,這樣摩爾定律又可以生效了。至少可以再持續(xù)延伸了五代以上。”林苯堅(jiān)信心滿滿地道。
“哈哈,好哇!”
張中謀大笑,“就是要你的這種底氣,你來看看這份資料。”
他指著中芯突破90nm技術(shù)的資料給林苯堅(jiān)看,“如果技術(shù)停滯,後來者就很容易追上來。爲(wèi)了保持我們的技術(shù)領(lǐng)先,我決定馬上研發(fā)溼法光刻技術(shù)。由你牽頭負(fù)責(zé)成立技術(shù)團(tuán)隊(duì),爭取一年內(nèi)出成果。咱們積電不發(fā)威,什麼內(nèi)地小公司都敢追上來了。”
林苯堅(jiān)臨危受命卻大喜,他立正道:“保證完成任務(wù)。”
“不過……”林苯堅(jiān)又道:“光刻機(jī)霸主——東洋佳能和尼康十分抵制我的這個(gè)方案,我們找哪家公司一起研發(fā)溼法光刻機(jī)呢?”
“那裡……”
張中謀又指了指手中的資料,林苯堅(jiān)低頭看去,“荷蘭小廠阿斯麥?”
“對,相信他們願意嘗試。這是他們打敗東洋霸主的機(jī)會。”
張中謀雖然不熟悉這家小廠,但他懂人心。
他拍拍林苯堅(jiān)的肩膀,“儘快出發(fā),和這家公司交好,必要的時(shí)候可以提供技術(shù)支持或資金入股,爭取這家公司更多的話語權(quán)。”
張中謀安排好了林苯堅(jiān),目光又落到了案頭的資料上面。只見資料最上方,葉風(fēng)的清秀帥氣的照片,帶著淡淡的笑容。那面容年輕得過份。
嘆了一口氣道:“唉,我和張如京都老了,就算我現(xiàn)在能帶領(lǐng)積電領(lǐng)先一步,十年二十年後,我還能帶得動積電這艘大船嗎?時(shí)間,纔是我最大的敵人啊。”
他此時(shí)還不知道,林苯堅(jiān)的溼法光刻技術(shù)大獲成功,不僅革新了集成電路的製程,還使先進(jìn)半導(dǎo)體芯片的特徵尺寸,能持續(xù)縮減爲(wèi)5-7納米量級,爲(wèi)建造最強(qiáng)大的計(jì)算和通信系統(tǒng)做出了關(guān)鍵貢獻(xiàn),讓積電的製程技術(shù)一直領(lǐng)先了15年。
而且,不但積電完成了技術(shù)突破,荷蘭阿斯麥也迅速崛起,擊垮東洋霸主成爲(wèi)行業(yè)巨頭,和積電結(jié)下了深厚的戰(zhàn)友情。
如果不是葉風(fēng)的出現(xiàn),15年後的阿斯麥將在美國的重壓下,卡著中芯的脖子,不再給中芯提供7納米級的先進(jìn)光刻機(jī),差點(diǎn)將中芯逼入絕境。