第249章 再來(lái)一次舌戰(zhàn)羣儒?
幾天之後。
由林曉發(fā)起的華芯盟內(nèi)部會(huì)議即將召開(kāi)。
作爲(wèi)華芯盟的理事會(huì)主席兼首席科學(xué)家,林曉如果有重要的事情,是完全有權(quán)力召開(kāi)這場(chǎng)會(huì)議的。
當(dāng)然,這次參加會(huì)議的人也很全,基本上是有時(shí)間來(lái)參加的都來(lái)參加了,華芯盟中的各個(gè)機(jī)構(gòu)、企業(yè)等,都派人來(lái)參加了。
無(wú)他,他們的行業(yè)剛剛再次遭受國(guó)外的一次打擊,雖然僅僅只是對(duì)光源以及光掩膜版的打擊,但是卻依然讓所有人都感到了一種脣亡齒寒的感覺(jué)。
一個(gè)是光刻機(jī)重要部件,一個(gè)是光刻的重要耗材,特別是光掩膜版,更是特別重要,畢竟,光刻機(jī)的全名,就是叫做掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),掩膜版在其中佔(zhàn)據(jù)著核心地位,而現(xiàn)在他們國(guó)內(nèi)做不成掩膜版了,以後掩膜版都只能找國(guó)外進(jìn)口,雖然說(shuō)以前也基本上都是這樣,但是國(guó)內(nèi)損失的份額,卻是實(shí)實(shí)在在的,等於說(shuō),錢都是讓國(guó)外給賺了。
所以,這樣一場(chǎng)會(huì)議,就給了他們一個(gè)傾訴的地方,尋求一種來(lái)自盟友給予的安心。
會(huì)議室中,已經(jīng)坐了幾十個(gè)人,這些人大多都帶著愁容,特別是那些原來(lái)能夠生產(chǎn)光掩膜版的,更是一臉悲傷,而全場(chǎng)中大概唯一顯得有些高興的,就是光電所的羅剛憲院士了,當(dāng)然,過(guò)來(lái)參加會(huì)議的上硅產(chǎn)業(yè)總經(jīng)理餘建成也沒(méi)有發(fā)愁,畢竟他們也不用擔(dān)心被制裁,核心技術(shù)是自己的,當(dāng)然沒(méi)必要擔(dān)心。
不過(guò),他們兩個(gè)人這麼輕鬆的樣子,還是吸引了其他人的注意。
“羅院士,真羨慕你們光電所。”
坐在羅剛憲旁邊的人忍不住說(shuō)道,這位是常春光機(jī)所的院士,叫王軍。
“有什麼羨慕的?”
羅剛憲攤了攤手,笑呵呵地說(shuō)道:“大家都是在爲(wèi)國(guó)家辦事的,沒(méi)什麼羨慕不羨慕的。”
王軍說(shuō)道:“你們的拋光技術(shù)啊,你們現(xiàn)在可都能夠和蔡司公司相提並論了,牛逼的啊。”
“害,都是林曉教授的功勞,我可是沒(méi)有提供半點(diǎn)作用。”羅剛憲搖搖頭,說(shuō)道:“最關(guān)鍵的是,以前我還算是憑藉經(jīng)驗(yàn),能夠稱爲(wèi)國(guó)內(nèi)頂尖的拋光大師吧,結(jié)果現(xiàn)在林教授就隨便搞了一個(gè)理論,我的經(jīng)驗(yàn)什麼的就沒(méi)有用武之地了,那離子束直接指哪打哪,壓根不用我的判斷了。”
說(shuō)到這,羅剛憲又道:“當(dāng)然,最關(guān)鍵的還是林曉教授的八分結(jié)構(gòu)編碼器,沒(méi)有這個(gè)東西的話,精度更不上去,我們也沒(méi)轍,不過(guò)說(shuō)到這,伱們光機(jī)所怕是更應(yīng)該感謝林曉教授吧?如果沒(méi)有林曉教授,你們的伺服電機(jī)恐怕都完全還是個(gè)問(wèn)題吧?”
“說(shuō)的是啊,但正因爲(wèi)這個(gè)原因,我們更希望能夠得到林曉教授的幫助嘛。”王軍攤了攤手說(shuō)道:“我是搞半導(dǎo)體高功率激光技術(shù)的,現(xiàn)在他們?cè)诠庠瓷蠈?duì)我們限制了,我們現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)室都只能拿以前的東西研究了,我們現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)的EUV光源功率纔不到40W呢,現(xiàn)在準(zhǔn)分子激光器又給限制了,現(xiàn)在又要從頭研究準(zhǔn)分子激光器,唉,難啊。”
“呵呵,說(shuō)不定這次林教授找我們開(kāi)會(huì),就是打算解決這個(gè)問(wèn)題呢?畢竟他兩個(gè)周前找我們開(kāi)會(huì)的時(shí)候,剛好是國(guó)外宣佈加大制裁的時(shí)候嘛。”
“希望吧。”
王軍搖搖頭。
就在這個(gè)時(shí)候,門(mén)口進(jìn)來(lái)了幾個(gè)人,其中爲(wèi)首的,便是林曉。
林曉進(jìn)入會(huì)議室後,便來(lái)到了首位上,說(shuō)道:“讓各位久等了,既然基本上都到了,那廢話咱們不多說(shuō),本次內(nèi)部會(huì)議正式開(kāi)始,這次也算是我第一次召開(kāi)這次內(nèi)部會(huì)議。”
他微微一笑,隨後說(shuō)道:“那麼這場(chǎng)會(huì)議,主要討論的就是,在新制裁下,我們未來(lái)的半導(dǎo)體發(fā)展方向。”
聽(tīng)到林曉的話,在場(chǎng)的人都眼前一亮,立馬認(rèn)真了起來(lái),對(duì)於在場(chǎng)的人來(lái)說(shuō),此時(shí)就需要一個(gè)主心骨,讓他們看到成功的希望。
見(jiàn)到在場(chǎng)人們的反應(yīng),林曉笑了笑,而後也沒(méi)有什麼猶豫,直接給他們下了猛料:“我認(rèn)爲(wèi)我們應(yīng)該放棄EUV光刻機(jī)這條路。”
剛剛還無(wú)比期待的在場(chǎng)衆(zhòng)人,聽(tīng)到這個(gè)消息頓時(shí)就驚呆了。
啥?
放棄EUV光刻機(jī)這條路?
您這是要破罐子破摔了嗎?
在場(chǎng)的人無(wú)法理解林曉的這個(gè)決定。
有一位比較年老,看起來(lái)資歷也比較高的業(yè)內(nèi)人士立馬錶示了疑問(wèn):“林教授,對(duì)你的建議,我不反對(duì),但是EUV光刻這條路已經(jīng)可以證明是對(duì)的了,如果我們放棄的話,我們?cè)撏膫€(gè)方面發(fā)展?”
其他人也點(diǎn)點(diǎn)頭,有人也說(shuō)道:“總不能不搞芯片了吧?或者去搞碳基芯片?也沒(méi)人說(shuō)碳基芯片不要光刻機(jī)啊!”
“除非我們能搞出兩位數(shù)的納米級(jí)別打印技術(shù),不然的話只能搞減材製造,不能搞增材製造,芯片這些都可以實(shí)現(xiàn)。”
在場(chǎng)的人基本都是科學(xué)家,都對(duì)這些技術(shù)問(wèn)題有很多的認(rèn)識(shí),就比如碳基芯片。
所謂碳基芯片能夠繞開(kāi)光刻機(jī),其實(shí)只是自媒體吹出來(lái)的,隨便找個(gè)研究研究光刻機(jī)技術(shù)的學(xué)生,都會(huì)知道碳基芯片並非不如硅基芯片,也從來(lái)沒(méi)有科學(xué)家表明不需要光刻機(jī),碳基芯片的主要優(yōu)勢(shì),還是在於碳基材料相對(duì)於硅基材料的優(yōu)勢(shì),同規(guī)格的碳基芯片性能能夠遠(yuǎn)超硅基材料,大概能夠提高5-10倍,而功耗也能降低到原來(lái)的十分之一。
功耗問(wèn)題是芯片界的一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題,如何破解低製程芯片的高功耗問(wèn)題,是一個(gè)十分關(guān)鍵的問(wèn)題,這是限制芯片發(fā)展的最主要問(wèn)題,就比如阿法狗和圍棋冠軍們下棋時(shí),阿法狗的功耗可是高大20000W,這麼高的功耗,都是爲(wèi)芯片運(yùn)算供應(yīng)的。
所以碳基芯片好,但是如何製備,仍然有著很多的問(wèn)題。
至於3D打印技術(shù),想要通過(guò)這種增材製造的方式製造芯片,那就更加不可能了,那至少還得經(jīng)過(guò)很多年的發(fā)展,才能做到兩位數(shù)納米級(jí)別,現(xiàn)在的精度,也就僅限於微米級(jí)。
所以在場(chǎng)的人對(duì)於林曉要放棄EUV光刻這條路,產(chǎn)生了如此巨大的反響。
而林曉看著眼前這些專家們?nèi)绱藰幼樱瑓s只是微微一笑。
看來(lái)又要來(lái)一場(chǎng)舌戰(zhàn)羣儒了。
當(dāng)然,來(lái)就來(lái)吧。
而後,他開(kāi)口道:“各位,你們所說(shuō)的難點(diǎn)我都知道,當(dāng)然,我也從來(lái)沒(méi)說(shuō)過(guò)要去搞碳基芯片,或者說(shuō)是搞什麼原子打印技術(shù)。”
“但是實(shí)現(xiàn)彎道超車,是我們必須考慮的一個(gè)方向。”
說(shuō)到這,他頓了頓,說(shuō)道:“國(guó)外長(zhǎng)期佔(zhàn)據(jù)著EUV、DUV光刻領(lǐng)域,對(duì)我們實(shí)行各種制裁,而他們又仗著手中有專利,對(duì)我們實(shí)行著各種各樣的打壓,而我們想要在這條直線上奮起直追,趕上他們,充滿了艱難。”
“而且,就像有一句話說(shuō)得好,直線誰(shuí)不會(huì)加速啊?彎道快,纔是真的快。”
“所以,我們?cè)谥本€發(fā)力的同時(shí),國(guó)外同樣也在沿著這條直線發(fā)力著,那我們就不能放棄彎道超車的機(jī)會(huì),至少在彎道上,國(guó)外領(lǐng)先我們的不是很多,但要是我們?cè)趶澋郎弦沧寚?guó)外給超過(guò)去了,未來(lái),我們又得落後不知道多少年。”
聽(tīng)著林曉的話,在場(chǎng)的人都默默點(diǎn)點(diǎn)頭。
對(duì)林曉的話,他們都十分的贊成。
落後的,就始終落後了,真想要實(shí)現(xiàn)追趕,很難很難,雖然有盾構(gòu)機(jī)的例子在前,但是這樣的例子卻還是太少了。
所以他們只有尋找技術(shù)的彎道,才能實(shí)現(xiàn)追趕乃至超越。
“林教授,你說(shuō)吧,你想搞的是什麼?”
有人舉手說(shuō)道。
其他人也紛紛看向林曉,只要合理,他們都願(yuàn)意努努力。
林曉一笑,說(shuō)道:“我想搞的是,一個(gè)已經(jīng)存在,只不過(guò)過(guò)去一直被我們所忽視的光刻工藝技術(shù)。”
“X光刻!”
底下的人頓時(shí)一片浮動(dòng),人們的臉上都露出了驚訝的表情。
林曉知道他們想說(shuō)什麼,X光作爲(wèi)光源的優(yōu)缺點(diǎn),在場(chǎng)的人都是行業(yè)內(nèi)的人,當(dāng)然都知道。
而後,林曉只是壓了壓手,讓他們都安靜下來(lái),而後說(shuō)道:“X光刻機(jī)的優(yōu)缺點(diǎn)我們都清楚,優(yōu)點(diǎn),準(zhǔn)直性好,沒(méi)有衍射效應(yīng),不用擔(dān)心光源功率的問(wèn)題,不需要掩膜版,缺點(diǎn),穿透性太強(qiáng),不能用來(lái)大規(guī)模生產(chǎn),導(dǎo)致其經(jīng)濟(jì)效益比較差。”
“所以,我們現(xiàn)在所需要解決的就是,大規(guī)模生產(chǎn)問(wèn)題。”
“而關(guān)於大規(guī)模生產(chǎn)問(wèn)題,我已經(jīng)有了一個(gè)可行的方案。”
聽(tīng)到林曉這麼說(shuō),在場(chǎng)的人頓時(shí)都是一愣。
用X光實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)?
要怎麼做?
“我的方案就是,利用晶體X光衍射效應(yīng),實(shí)現(xiàn)對(duì)X光的放大和縮小。”
林曉剛說(shuō)完,又立馬伸出手壓了壓,因爲(wèi)他也清楚,自己說(shuō)出這句話後又會(huì)給在場(chǎng)的人帶來(lái)多大的驚訝,事實(shí)上在場(chǎng)的人們也確實(shí)因爲(wèi)他的話,而在一次躁動(dòng)了起來(lái)。
好傢伙,你都說(shuō)了X光的優(yōu)勢(shì)是沒(méi)有衍射效應(yīng),結(jié)果你現(xiàn)在又要讓人家衍射?
雖然如果真的能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)X光的放大和縮小,那確實(shí)有很大的幫助,甚至他們?cè)鼐湍芙o你造出個(gè)光刻機(jī)出來(lái),因爲(wèi)X光刻機(jī)能夠摒棄EUV光刻機(jī)中許多需要攻克的難題,以最簡(jiǎn)單的方式來(lái)實(shí)現(xiàn),尤其是他們現(xiàn)在有了更加精密的伺服電機(jī),在機(jī)械精度上也跟上了國(guó)外。
但是,問(wèn)題就是你要如何實(shí)現(xiàn)?
林曉這次沒(méi)有說(shuō)話了,而是拿出電腦,開(kāi)始給在場(chǎng)的人們展示他的PPT。
“控制X光的衍射,就需要我們控制衍射,也就意味著我們要尋找衍射的規(guī)律,那麼,接下來(lái)我們就要涉及到量子力學(xué)中的理論了。”
說(shuō)到這,林曉起身,來(lái)到了投影屏幕邊,開(kāi)口道:“可能要涉及到一點(diǎn)學(xué)術(shù)的話語(yǔ),大家請(qǐng)諒解。”
“根據(jù)惠根斯-菲涅爾原理,我們可以正確地解釋與計(jì)算波的傳播,而惠根斯-菲涅爾原理,則可以視爲(wèi)空間的各向同性的後果,而量子電動(dòng)力學(xué)中,空間的各向同性是其關(guān)鍵基礎(chǔ)。”
Www ◆ttκΛ n ◆C○
【dψ(r)=-ψ0e^(ikr′)K(χ)dS/λRr′……】
“所以,我們可以從這一步入手。”
……
底下的絕大多數(shù)人都呆住了。
怎麼一言不合,就給他們上起了課啊?
在場(chǎng)的人,此時(shí)人都傻了。
這裡有很多科學(xué)家,但並不是每個(gè)科學(xué)家都懂量子力學(xué)。
就更不用說(shuō)量子電動(dòng)力學(xué)了。
比如餘建成,他只是一個(gè)總經(jīng)理而已,以前也是學(xué)材料的,哪懂這些東西啊?
光是看到前面幾個(gè)公式,他就感到了一種回到了大學(xué)時(shí)代被物理、數(shù)學(xué)所支配的感覺(jué)。
最後,他放棄了,轉(zhuǎn)頭看向旁邊的同僚,不知道啥時(shí)候已經(jīng)拿出了手機(jī),打起了麻將,牌面似乎還挺不錯(cuò),要十三幺的節(jié)奏。
餘建成拍了拍自己的腦袋,想什麼呢,他開(kāi)口道:“你不看林教授講的東西嗎?”
“你看得懂?”這人反問(wèn)一句。
“呃,看不懂。”餘建成攤手,又問(wèn)道:“林教授不是說(shuō)涉及一點(diǎn)學(xué)術(shù)語(yǔ)言嗎?我怎麼感覺(jué)他說(shuō)的都是學(xué)術(shù)語(yǔ)言?”
“什麼一點(diǎn),明顯是億點(diǎn),一萬(wàn)乘一萬(wàn)的那個(gè)億。”
餘建成:“……”
當(dāng)然,在場(chǎng)中的人也還是有能夠理解的科學(xué)家的,尤其是在場(chǎng)研究光學(xué)的專家很多,比如那位常春光機(jī)所的王軍院士,他研究的也是光學(xué)的東西,對(duì)衍射干涉什麼的都聽(tīng)得懂。
他凝著眉頭,聽(tīng)著林曉的講述,林曉的論證深入淺出,雖然涉及到了量子力學(xué)的內(nèi)容,更是包括了量子電動(dòng)力學(xué),不過(guò)這些他都有些研究。
唯一讓他感到有些複雜的就是林曉在計(jì)算中得到的那些公式。
他的數(shù)學(xué)能力雖然比起其他人來(lái)說(shuō)要厲害不少,但是相對(duì)於林曉來(lái)說(shuō),顯然就不行了,甚至可以說(shuō)弱。
當(dāng)然,所幸的是林曉對(duì)於他的那些公式什麼的都進(jìn)行了一個(gè)完整的講述,沒(méi)有直接用“顯而易見(jiàn)”、“衆(zhòng)所周知”等這類詞語(yǔ)直接跳過(guò)。
所以,王軍只要跟上思路,還是能聽(tīng)懂的。
而隨著林曉講得越來(lái)越深入,他的目光中就陡然亮了起來(lái)。
似乎,這真的是能夠解釋衍射本質(zhì)的方法?!
(本章完)