經(jīng)過了幾個月的焦急等待與煎熬,長久和虞博士傾注心血的第一個芯片工廠終於在1983年的五月份調(diào)試成功進行了試生產(chǎn)。
試生產(chǎn)的產(chǎn)品是16k的mos動態(tài)存儲器,比較成熟的產(chǎn)品,工藝也不復雜,但是卻是十分的考驗生產(chǎn)線的性能。
動態(tài)存儲器結(jié)構(gòu)很簡單,只要一到三個晶體管即可構(gòu)成一個存儲單元,視結(jié)構(gòu)而定。製造存儲器的關(guān)鍵在於集成度,將成百上千的存儲單元集合在一起組成陣列,相互之間的線寬要縮小到極限,這樣才能降低成本,因此對工藝的要求很高。
這也是爲什麼一個芯片工廠的技術(shù)指標乃至一個國家的集成電路工藝水平總是用單片存儲器的容量表示的原因,這方面的競爭可以說用殘酷來形容,美國、歐洲、日本都在爭分奪秒的提高動態(tài)存儲器的容量,其中以日本做的最爲變態(tài)。
小鬼子以重工業(yè)立國,幾十年如一日的搞“物作”,信奉的是實體,懂得以國家之力衝刺難關(guān),終於突破了集成電路製造技術(shù),讓日本公司在國際上都有了競爭力,能和美國人競爭mos存儲器製造。
曹長久的這個芯片生產(chǎn)線雖說按著公開的最新技術(shù)設(shè)計,但是不敢託大,只是選擇了成熟的東西試產(chǎn),力求一次成功,不留後患,時間不等人。
試產(chǎn)那天,虞博士和曹長久嚴陣以待,每個環(huán)節(jié)都親自把關(guān)。原料是進口的高純3英寸硅單晶,價格那是相當?shù)母摺?
集成電路芯片號稱比黃金都貴,物料成本卻比垃圾都低,其原因就是原料使用的是無所不在的沙子。
但是將沙子當中的硅提煉提純卻需要相當?shù)墓に嚕@個成本就是高的驚人了。光有晶圓還不夠,整個生產(chǎn)工序足有89道,每一道都是一個關(guān)口,要想將成品率控制在百分之八、九十以上其難度可想而知。
作爲精密印刷業(yè)的一個分支,芯片工藝最見不得的就是灰塵和缺陷,更何況幾乎上百道的工序要轉(zhuǎn)移。
因此每道工序的合格率就成了關(guān)鍵,哪怕是百分之九十九也不成。很簡單,一道工序合格百分之九十九,那麼近百道工序下來還剩多少能用的?
因此虞博士和長久他們一個工序一個工序的檢查,務必保證完美。虞博士是老手,他當年就是幹這個的,因此熟門熟路。
長久就是一生手,好在他現(xiàn)在的地位已經(jīng)不需要幹什麼了,只要站那裡看就行了。
把所有的工序濾一遍需要好長時間,整整一個星期就這麼過去了,長久不禁發(fā)懵。
“虞叔,不是要試產(chǎn)嗎?”長久感覺不太對勁,“這都過去好些日子了,怎麼還沒動靜?”
“年輕人少安毋躁!”虞博士成竹在胸,“沒有三兩三,哪敢上梁山!一年多都等下來了,還在乎這點時間,我們雖說有點錢,但也禁不起造的,準備充分一點還是有好處的。”
欲善其事先利其器的道理長久還是懂得,倒也沒說什麼。虞博士這些日子的辛勞他也看在眼裡,人家都身先士卒了,長久一個頭還能不表示表示?
忙碌了一週之後,生產(chǎn)線悄無聲息的開動了,一片片的晶圓猶如烤麪包一樣的在爐子裡面旋轉(zhuǎn)烘烤。一片灰塵就能報廢整個的晶圓,人人在裡面都得穿上防化服,防止各種各樣的污染。
這個生產(chǎn)線還不是全自動化的,依然有人在裡面做一些必須的工作,人人都小心翼翼,手裡端的可都是希望。
整整72小時,第一批的16k存儲器晶圓出爐了,經(jīng)過切割檢測,一個大致的成品率數(shù)據(jù)被估算出來了。
“百分之七十八,嗯。”虞博士嘴裡唸叨著,臉上不動聲色。
長久也不知道這個數(shù)據(jù)是好是壞,只好問道:“虞叔怎麼樣,能不能成啊。”
虞博士笑道:“還行,等我們的工藝參數(shù)微調(diào)之後相信會更好。”
“那就是成功了!”長久拿著一塊成品晶圓興奮的大叫,“萬歲!”
這是一顆16Kbit的mos管動態(tài)存儲器,是基於單晶體管存儲單元的結(jié)構(gòu),使用了兩層多晶薄膜分開三層電路結(jié)構(gòu),就好像電路板分層一樣。
兩層多晶結(jié)構(gòu)可以使整個的集成電路可以有更好的佈線效率,就相當於一塊電路板雙層的可以比單層的面積縮小一半。
這是存儲器製造工藝的一個革命性的改進,是虞博士親自開發(fā)的。美國人早在1975年就實現(xiàn)了這個工藝,而華夏在這個年代還沒有這樣的技術(shù),這次成功也算是一個小小的突破吧。
爲了製造出兩層多晶膜,這顆動態(tài)存儲器使用了7層掩膜(MASK)。所謂掩膜,就是一張刻有圖形的透光板而已。
我們都會用硬紙板寫字或畫上圖案,然後按著圖形掏空,拿噴漆一噴就是一個字或圖案出來了。集成電路也是一樣,只不過光代替了噴漆,而掩膜板代替了硬紙板而已。
集成電路生產(chǎn)線使用的掩膜板大多是石英玻璃,表面噴塗了金屬鉻,用照相技術(shù)或者電子束在其上進行感光,之後酸一洗就是一個帶著圖案的掩膜版。
長久他們的工廠設(shè)備分辨率只能達到1~到3微米,只能進行分步投影,接近正常的圖形,七層掩膜就是做這個用的。
三英寸的硅晶圓,五微米的生產(chǎn)技術(shù),整個16k動態(tài)存儲器的芯片面積(die)大概19平方毫米,十分之小巧玲瓏。
16k的存儲器早就是過時的產(chǎn)品,五微米技術(shù)也遠不是這個工廠的極限,只是這都是虞博士的考慮。
生產(chǎn)線剛剛運轉(zhuǎn),各種工藝條件需要磨合,人員素養(yǎng)也要提高,爲了保險起見只能拿這個東西練手,
還好沒出什麼大的紕漏,一切同虞博士的預想一樣。
“長久,可以召開發(fā)佈會了。”虞博士長出一口氣,“目前看來運轉(zhuǎn)良好,下一步就可以使用2微米技術(shù)試產(chǎn)021改進型了。”
這個不用長久操心,公司裡早有一幫人專門幹這個的。五月十八日,數(shù)字東方在半島酒店隆重召開了記者招待會,邀請各家媒體記者,向社會宣佈了數(shù)字東方的芯片工廠試產(chǎn)成功,不日即將出口供貨。
十分可惜,似乎港府對這個消息並不怎麼在意,來的記者大多是應差。倒是老外對此很重視,前排啪啪坐了一大羣,各類重型裝備擺了一溜,似乎就等著拍照片。
長久沒見過這個大場面,剛一上臺還沒說話就被閃光燈炫的退了一步。
長久定了定神,索性不看下面,拿出了演講稿開始朗讀。一連串的數(shù)據(jù)指標出來,把下面的老外都唬的一愣一愣的。
講到酣處,長久取出了早已準備好的一塊報廢晶圓,給下面的傢伙做了一個pose。
這是長久夢中常見的場景,他可是十分羨慕那些人模人樣的傢伙捧著塊晶圓站在講臺上。今天長久可真是激動啊,這可是他自己的產(chǎn)品,終於實現(xiàn)了夢想。
那些記者哪見過這個架勢,頓時閃光燈響聲大作,一張經(jīng)典傳世照片就這樣誕生了。
第二日,各大報紙紛紛登載了這條消息,主題就是一個年輕人傻傻的手捧閃光的硅晶圓的相片。
**《大公報》對這個新聞做了一篇短評,高調(diào)的讚揚了本土高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對長久本人也是表示了很大的興趣,因爲這傢伙實在是太年輕了。
國外的報紙也紛紛轉(zhuǎn)載,不過大多對此表示了輕視或嘲笑,因爲長久在會上展示的DRAM製造技術(shù)還是美國75年的水平,因此完全不把他當作一個威脅。
只有宮本屁顛屁顛的跑了過來,詢問供貨事宜。
長久此時當然自信滿滿的答應他,一個月後第一批貨就可以出了,你們就把錢準備好吧。
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今日實在不順,不過還是堅持……
阿亂兄說的有理,他們是不會僕的……