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第272章 成功了!光刻工廠實現了!

第272章 成功了!光刻工廠實現了!

3納米極紫外光?

檢測光束設備給出的數據反饋讓所有人大吃一驚,3納米的極紫外光束,這豈不是說他們即將具備製造3納米芯片的條件?

衆所周知,在不考慮《多重曝光技術》的情況下,想要刻出幾納米級的芯片,就要先製造出多少納米的紫外光光源。

193納米的深紫外光還好說,大自然裡面也能找得到,但13.5納米及以下的極紫外光,那就必須由人爲創造。

深紫外光和極紫外光,和分別對應了DUV光刻機和EUV光刻機,後者現在還處於禁止出口龍國的設備清單裡面。

一旦這束光源被證實,確實是可以運用於光刻的極紫外光,那麼整個芯片行業都將被顛覆。

“真是3納米嗎?”

夏揚神色激動,向前一步。

他大學雖然學的不是半導體,但這並不代表他不懂芯片製造。

想要光刻14納米芯片,就要製造13.5納米波長的極紫外光,這在各種半導體諮詢媒體鋪天蓋地宣傳下,早已經人盡皆知。

3納米波長?

豈不是能刻3納米芯片?

雷兵也忍不住上前一步,詢問道:“這束光能用嗎?如果能用是不是意味著我們能造3納米芯片了?”

現在主流芯片是14納米,無論是龍興科技的SOC上帝芯片,還是蘋果公司的A9s仿生芯片,亦或者說是髙通公司剛剛推出的驍龍821芯片,它們都是14納米制程,根本夠不著3納米的邊邊。

要是真能造3納米芯片,那可不是小小的科技震撼,而是向整個半導體芯片行業扔了個蘑菇彈,要顛覆整個行業的事情了。

“不能這樣說。”

陳星從震撼中回過神,給雷兵與夏揚講解道:“具備光源還不夠,如果真要造3納米芯片,我們還要經歷芯片設計與研製光刻膠。”

在半導體領域,可不僅僅光刻機和紫外光有納米等級,光刻膠同樣有納米等級區分。

像目前龍興化工研製的1號光刻膠,它的曝光波長就在193納米,最高支持7納米芯片製造,這還是有多重曝光技術加持的情況下。

想要製造出3納米芯片,3納米極紫外光、3納米芯片電路設計、3納米曝光波長光刻膠缺一不可,這也是爲什麼,芯片納米等級推進緩慢的原因。

每推進一步,都需要各行業跟進,一旦說光刻膠不行,那有極紫外光和電路設計圖也沒用。

正因爲技術門檻高,大洋彼岸才能用芯片做文章。

“總裁說得沒錯。”林天也給予了肯定,他回頭看向兩位局長道:“現在說3納米芯片還爲時過早,不過我們可以先試試這13.5納米波長的極紫外光,看看它能不能滿足芯片生產需求。”

“這句話在理。”

“確實是我們操之過急了。”

雷兵和夏揚點了點頭。

他們屬於是懂一點,但並不知道半導體芯片領域可不僅僅只有極紫外光,還有N多的細枝末節,只有全部攻克才能造出芯片。

“趁著天沒亮,我們儘快測試光束的可行性吧。”陳星提醒一句。

他們現在可是關了全深城的電力供應,哪怕是凌晨4點鐘,但依然會對城市造成影響。

“我馬上操作。”

林天點了點頭回應道。

剛說完,他立馬看向設備操控臺,開始輸入指令,時不時還跑到一側去操作。

光刻工廠不同於光刻機,它更像是一條完整的自動化流水線,只需要裝填半導體硅片以及光刻膠與配套試劑,輸入指令後就可以進行自動化生產。

林天在檢驗了十幾束13.5納米波長的極紫外光後,也發現了單色性最好的一條光束,將它設定爲1號光刻區域。

又經過了十分鐘的參數調試,排除外故障情況,林天輸入了確定工作的指令。

下一秒。

運輸裝置自動取片。

存放在特定區域的半導體硅片被靜電吸盤吸起,運送到清洗區域,洗掉附著在半導體硅片表面的灰塵和雜質。

在清洗完成以後,半導體硅片會通過特殊運輸通道,運往下一個步驟進行烘烤,待半導體硅片徹底乾燥將繼續運往下一個步驟,塗抹光刻膠。

自動取片。

自動清洗。

自動塗膠。

自動光刻。

這就是光刻工廠,亦或者說光刻全自動工廠。

兩塊光掩膜版已經重迭,他們在特定

這也是爲什麼第一期的光刻工廠只有5000平的原因,因爲建造太大也沒用,像靜電吸盤和各類自動化運輸的設備,都是需要定製化購買的,關鍵有些設備國內還沒有,比如靜電吸盤設備。

第一期相當於測試,等測試通過就可以擴建二期、三期甚至是第四期的光刻工廠。

當然了。

前提是可以能光刻成功。

“我們沒有單獨完整的SOC上帝芯片光掩膜版,只能用兩塊陰陽掩膜版堆迭在一塊形成完整圖案,這又會出現個問題。”

林天喃喃自語。

像似給陳星幾人解釋,又像似說給自己聽。

“那就是兩塊光掩膜版堆迭,兩塊透明基板會削弱極紫外光能量,導致光刻失敗。”

“爲了解決這個問題,我加大了粒子加速器的功率,讓電子運動的速度再次增加。”

“理論上來說,運行功率的加大,會同步放大電子運動的速度,電子在環形存儲器的速度越快,輻射出的極紫外光能量就越強,但我並不能確定這個數值是不是正確的,只能說理論可行。”

光刻工廠沒有人測試過,誰也不知道行不行。

現在又因爲光掩膜版限制,林天只能加大功率,這給測試又增添了不小的難度。

“試試就知道了。”

陳星默默舉起手機拍攝。

雖然他們在操控室,但面前的屏幕有顯示潔淨室的畫面,根本不需要親自前往。

林天微微頷首,沒有說話,他雙眸注視著監控畫面,神色也顯得格外緊張。

烘乾冷卻,塗滿光刻膠的半導體硅片已經被運往了光刻區域,只剩下最後的光刻步驟。

隨著透鏡組移動到指定位置,13.5納米波長的極紫外光發生了折射,精準地照射在兩塊圖案互補的光掩膜版上,而光掩膜版上面的完整圖案被照射後,最終落到待曝光的半導體硅片表面。

“滋——”

ArF光刻膠遇到光源,內部開始發生化學反應。

而ArF光刻膠又分正膠和反膠,這次曝光用的是正膠,被曝光區域的光刻膠會發生化學反應,沒曝光區域則不受到影響。

一塊區域被曝光後,透鏡組立馬移動,側開照射光源,待移動平臺調整後繼續移回正位,對下一個區域進行光刻曝光。

12寸半導體硅片,大概能產出232塊1.6×1.6的成品裸片,也就是說需要曝光232次。 目前來說,曝光一次的速度大概在1秒,這就需要232秒,也就是差不多4分鐘才能把一張半導體硅片全部曝光完成。

雖然這個速度相比較於光刻機慢了差不多一倍,可光刻工廠畢竟是國產自研,而且是第一代產物,後續透鏡組和移動平臺還能繼續優化,追趕上光刻機的光刻速度不是不可能的。

在等待了四分鐘後,林天看向陳星等人解釋道:“考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗,我們先不急著拿去顯影,讓半導體硅片再次加熱,加劇光刻膠的化學反應。”

陳星、雷兵、夏揚微微頷首,都在等待著結果。

現在這裡陳星算半個門外漢,雷兵、夏揚則是都是門外漢,只能聽林天安排。

他別說拿去烤了,哪怕是燒,他們也會覺得很合理。

隨著林天輸入指令,本該送去顯影的半導體硅片被傳送去了烘烤區域,進行二次加熱,加劇ArF光刻膠內部的化學反應。

當這步完成以後,半導體硅片再次被運輸,它來到了顯影區域。

先用去離子水潤溼硅片,緊接著把硅片放在顯影平臺,上方的機器設備噴出顯影液,均勻地撒在半導體硅片表面,進一步溶解被曝光的部分區域。

隨著這個步驟完成,半導體硅片表面已經清晰可見電路圖案,只差最後的沖洗,將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉。

“我好像看見圖案了。”

雷兵瞪大雙眼,不敢錯過任何一絲的細節。

“我也看見了。”夏揚附和道。

剛纔半導體硅片清洗拿出時,可以清晰看見硅片表面密密麻麻的電路圖案。

“有電路圖案是好事,但還需要經過電路測試才能知道芯片能不能正常運行。”

陳星講解道。

經過了開天芯片、輕舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染,他已經算半個行內人了。

曝光、蝕刻、顯影、清洗他都略懂一二,當然了,只是略懂,還停留在理論知識層面。

不過縱使是這樣,雷兵還是忍不住豎起拇指稱讚道:“想不到陳總不僅在商業領域有所建樹,原來在芯片領域也有自己獨到的見解。”

“確實想不到。”

夏揚也附和一聲。

本以爲陳星什麼也不懂,沒想到人家出口成章,這讓他們都感到了一絲意外。

聽著兩人稱讚,陳星也幾位謙虛道:“不算是見解,只是耳濡目染多了記下的知識點。”

“能記下也是個本事。”

雷兵笑道。

夏揚也點了點頭,附和道:“沒錯,記憶力不好的想記也記不住,陳總能記住這些流程,足以見得龍興科技深耕芯片的赤子之心。”

在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時,全自動化的生產線已經把顯影后的半導體硅片送去切片,進行最終電路測試。

林天看著“檢測中”的提示,看向陳星說道:“如果可以通過,二期光刻工廠就可以開工了,不過能源還是個問題…”

他目光看向夏揚。

後者立馬會意,連忙說道:“陳總、林首席你們放心好了,只要證實光刻工廠可行,天一亮我就回去召開市級會議,主題就是建設你們的能源輸送通道。”

“沒錯。”

雷兵附和一句,繼續說道:“別的地方不敢保證,但在深城,夏局還是可以說上兩句話的。”

“包在我身上。”

夏揚拍了拍胸口。

他們都是混體制的,當然明白國家目前的主推方向。

要是能協助龍興科技完成光刻工廠的建設,那他們所有人說不定都可以往上走兩步。

體制內,誰不想進步?

有進步的機會,他們可不會放過,更何況是涉及“芯片”的。

“我先謝謝兩位的好意,不過…”陳星猶豫了一會,還是決定說出宋衛國承諾的“東電南調”計劃道:

“就如果說光刻工廠證實可以產出芯片,我希望深城電力局多建設拋狗嶺地區的電力傳輸系統,保障電力輸送,至於電力的話,奉天軍區的宋首長說過,近期會有個東電南調文件下達。”

雷兵:“???”

夏揚:“!!!”

這句話說出那刻,雷兵滿腦子都是問號。

奉天軍區?

這不是隸屬於北部戰區的嗎?

你陳星不和南部戰區打交道,跑去北部戰區了?

身旁的夏揚則是驚訝到懵逼,東電南調文件,這不是剛剛下達的全國性絕密文件嗎?

難不成…

它是專門支撐光刻工廠的??

想通了!

夏揚終於想通了!

他就說怎麼這麼奇怪,明明東部地區用的是國家電網,而深城用的是南方電網,怎麼會突然輸送電力過來,深城也不缺電啊。

原來是專門支持龍興科技建設光刻工廠的,這也就是說,上邊其實已經是知道的了。

“咕嚕——”

夏揚嚥了口唾沫。

他看向陳星的目光,已經帶了幾分敬畏,這個不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。

如果可以的話,他真想在陳星耳畔輕聲說一句:“陳總,我夏揚太想進步了。”

就在雷兵和夏揚內心掀起驚濤駭浪,震驚到大腦空白時,林天突然打斷了他們道:“裸片電路的檢測結果出來了。”

陳星:“!!!”

雷兵:“!!!”

夏揚:“!!!”

三人立馬側目,順著林天目光注視的方向看去,上面赫然寫著“電路未檢測出異常”八個大字,最左側的屏幕,還有SOC上帝芯片的全部數據參數,包括納米等級,微架構與運行功率。

在一一進行比對後,林天神色激動地看向陳星等人宣佈道:“成功了!光刻工廠實現了!”

第349章 半導體芯片時代變了,陳星公佈壓軸第366章 註冊離岸公司,拒絕日企再簽約請求第575章 清除敵對輿論賬號,陳星走進可控核聚變工程第3章 制裁名單166.第166章 日賺十億,銷售一空!242.第241章 前往巴鐵,千兵戒備第488章 魏延平步青雲,打入米國核心圈層第613章 百年華誕,盛世龍國第69章 抵達半島,探訪韓星集團工廠167.第167章 自爆芯片生產能力?西方半導體第444章 信息通信領域大突破,FSA金融廳上門求和!第443章 髙通簽下技術共享合同,莫倫剋夫正式下線138.第138章 西方社會見到了他們的上帝!第586章 東盟宣佈解散,島國代表再次登門拜訪118.第118章 11N多晶硅正式出爐!第424章 魏延順利拿到入場券,陳星再次放出第413章 組建金融操盤團隊,龍國正式發函駐159.第159章 基站建設選址,深耕信息通訊領96.第96章 日銷破億,黃牛團隊秒殺庫存133.第133章 懷疑人生,芯片的至暗時刻132.第132章 捧殺龍興科技100.第100章 阪田荒地建設,陳亞鵬重出江湖第405章 全球走私浪潮,誰的國門開了?第535章 離別之宴,同志仍需努力!250.第249章 敵我不分的超級木馬病毒!171.第171章 召開緊急會議,西方企業通過測第549章 龍興年度科技展!第503章 全球金融大洗牌,陳星7100億拿下碧桂園122.第122章 蘋果7發佈會,對陳星最後的通牒第600章 渣男陳星威脅全世界,達維奇做出驚人決定!第385章 劃時代的產物,推動充電樁基礎建設第51章 韓星集團長公主202.第202章 年會的重要性,選定建設施工隊第328章 對等報復沒得商量,黃教主 蘇媽無功第370章 芯片端 零件端 本部人馬齊聚龍興基233.第233章 一小時千萬銷量,這特麼是國產第305章 基站測試通過,昌西衛星研發基地亮231.第231章 協調各環節,全面復工復產!149.第149章 SSS加密背景?龍興科技不簡單!第262章 東電南調,光刻工廠建設完成244.第243章 攤牌了,分配南亞市場蛋糕第445章 三進制的破局點,齊藤井向陳星施壓第350章 給美金加息添把火,內卷拉爆島國企182.第182章 曝光粒子加速器用途,承諾建設168.第168章 技術交持,米國版半導體芯片聯第285章 天網會議全票通過,雄踞一方任務完成?第536章 國際機構上調龍國經濟等級,十萬億落地免費醫療第574章 龍國經濟轉型,陳星被“反壟斷局”帶走調查第457章 硬核穿刺測試,依舊遙遙領先!第375章 領航汽車新進展,半島財閥一致排外第545章 罪在當代,功在千秋172.第172章 至暗時刻仍有一線光明166.第166章 日賺十億,銷售一空!164.第164章 三十萬分芯片,這是誰在搗亂?210.第210章 5G新契機,超車西方的希望!第550章 出場即王炸,資本市場用腳投票第489章 汽車價格戰白熱化,馬嘶克被昂撒財團拋棄第428章 TikTok化險爲夷,猶太和昂撒將再度第81章 辣個男人又要來搞事情了第40章 這或許不是絕境!224.第224章 馬劉爭霸,毛熊出動專家援助第30章 暑假檔亂戰,蘋果公司入場第141章 它!稱得上國產之光!第594章 春節假期結束,陳星的假賬教學第263章 殺雞儆猴,大米公司面臨生死時刻第589章 凌晨堵車的華盛頓,全球局勢向龍國傾斜第599章 威廉王子的把柄,達維奇徹底黑化第554章 以車佈局,電力供應全球化107.第107章 一明一暗,解決芯片原材料問題第498章 牛市號角吹響,陳星港島拜訪李家誠209.第209章 龍興基地初具規模,陳星挖聯合第265章 連續王炸利好,牛回速歸!129.第129章 爲西方築起專利牆第486章 碟中諜上演,《股市融合計劃》計劃泄露第550章 出場即王炸,資本市場用腳投票第534章 米國殊死一搏,陳星赴約四季酒店第349章 半導體芯片時代變了,陳星公佈壓軸第301章 半導體領域閉環,陳星與魏延達成戰第475章 低溫超導材料驗證成功,王山主動協調龍科院設備145.第145章 新工藝半導體硅片,測試合格!90.第90章 14納米輕舟處理器,全球首發!137.第137章 欺騙全世界?雙芯連接技術曝光142.第142章 陳星再打基礎,龍芯國際亮劍!第602章 克雷頓死亡,羅斯柴爾德清洗行動第613章 百年華誕,盛世龍國第20章 髙通讓你跪下,龍興科技讓你站起來第316章 戰火再再再再再次重燃!第501章 全球加息我降息,打響金融決戰第582章 通電全球,陳星歸來!第339章 S3賽季將開啓?陳星海盜式談條件!第273章 正式通知你,東電南調全面啓動!第324章 蘋果8銷售慘淡,《東電南調計劃》正第483章 龍國汽車,不再是工業垃圾!93.第93章 傑克馬壓軸出場,發佈會圓滿結束第430章 成功植入腦機,神經病學史就此改變!第63章 固態電池技術,或將實現300W充電第78章 授業之恩,今生難忘第455章 科技改變生活,固態電池亮相發佈會第55章 爲龍興科技點贊,爲陳總點贊131.第131章 蘋果公佈仿生級芯片
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